激光干涉仪


激光干涉仪

 
      激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氛激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高jing度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,实现各种参数的高jing度测量。通过激光热稳频控制技术,实现快速(5 10分钟)、高jing度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出,采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量,并且可以进行动态分析.

机型类别
      激光干涉仪有单频的和双频的两种。


《单频激光干涉仪

     从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为 激光波长(N 为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时,要求周围大气处于稳定状态,各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。

《双频激光干涉仪

           在氦氖激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应, 激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为仅含有f1的光束,另一路成为仅含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来仅含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为仅含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度,也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件,还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。

 
检测类别
      几何精度检测、位置精度的检测及其自动补偿、数控转台分度精度的检测及其自动补偿、双轴定位精度的检测及其自动补偿、数控机床动态性能检测
 

技术参数

5D/6D标准型:
1. 线性:0.5ppm .
2. 测量范围:40米(1D可选80米)
3. 线性分辨力:0.001um.
4. 偏摆角和俯仰角的jing度:(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值
5. 最大范围:800角秒
6. 滚动角jing度:1.0角秒
7. 直线度jing度:(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值
8. 直线度最大范围:500um
9. 垂直度jing度:1角秒
10. 温度jing度:0.2摄氏度
11.湿度jing度:5%
12.压力jing度:1mmHg

主要特点

1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角
2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器
3. 可选的无线遥控传感器最长的控制距离可到25米
4. 可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性
5. 全套系统重量仅15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架
6. 集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间
7、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等,以及测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性等。
8、激光干涉仪的光源——激光,具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。
9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。

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